Laboratórium je zamerané na prípravu nových štruktúr pomocou litografických metód ako je optická litografia a litografia pomocou elektrónového lúča, a na prípravu a charakterizáciu tenkých filmov progresívnych materiálov, ktoré môžu zároveň slúžiť ako prekurzory pri príprave nanoštruktúr. V laboratóriu je k dispozícii atómový silový mikroskop, ktorý slúži na výskum fyzikálnych vlastností povrchov (topografia na nanometrovej úrovni) a na prípravu nanoštruktúr (pomocou lokálnej anodickej oxidácie). Laboratórium je umiestnené v poločistých priestoroch.

Vedeckí pracovníci: Vladimír Komanický (vedúci UPJŠ) , Tomáš Samuely (UPJŠ)

Magnetrónová naprašovačka	Magnetrónová naprašovačka
Rastrovací elektrónový mikroskop	Mikroskop atómových síl
Mikroskop atómových síl	Mikroskop atómových síl
Optická litografia	Plazmová leptačka
Spin coater	Kontaktovačka
Systém na prípravu ultra-čistej vody	Rúrová piecka, 2000°C
Ventilácia